作為A股半導體設備龍頭，北方華創披露最新業績，顯示近三年營業收入復合增長率超過四成。據證券時報·e公司記者統計，目前已披露業績的上市公司中，超九成半導體設備上市公司實現盈利，并且多家上市公司開展資本運作，進行同行整合，或者參與產業投資。

設備龍頭業績穩健

4月8日北方華創發布的業績快報顯示，2024年，北方華創實現營業收入298.38億元，同比增長35.14%，實現歸屬于上市公司股東的凈利潤56.21億元，同比增長44.17%。

得益于集成電路裝備領域多款新產品取得突破，公司工藝覆蓋度及市場占有率顯著增長，產品銷量同比大幅度增加。另外，公司持續推動降本增效工作，平臺優勢逐漸顯現，經營效率顯著提高，成本費用率有效降低。

此前，北方華創介紹，公司去年多款新產品取得突破。電容耦合等離子體刻蝕設備、等離子體增強化學氣相沉積設備、原子層沉積立式爐、堆疊式清洗機等多款新產品進入客戶生產線并實現批量銷售，豐富了公司的產品矩陣，增強了產品布局的完整性。

最新披露的2025年一季度業績預告顯示，北方華創歸屬凈利潤實現14.2億元至17.4億元，比上年同期增長24.69%至52.79%。

2022年至2024年，北方華創營業收入和歸母凈利潤連續三年實現增長，營業收入年復合增長率42.53%，歸母凈利潤年復合增長率54.57%。

目前在已披露業績的半導體設備上市公司中，北方華創盈利規模居首，其次為中微公司、盛美上海以及華海清科，歸母凈利潤均實現10億元以上。

作為半導體刻蝕設備龍頭，中微公司去年歸母凈利潤16.26億元，扣非后凈利潤13.88億元，較上年同期增加16.52%；半導體清洗設備龍頭盛美上海去年實現歸母凈利潤11.53億元，同比增長26.65%；另外，CMP設備龍頭華海清科實現歸屬母凈利潤約10億元，同比增長約四成，產品市場占有率和銷售規模持續提高，同時新產品研發和銷售進展順利。

研發投入增加

從盈利增速來看，先鋒精科歸母凈利潤同比增長1.7倍，目前增速最快，華海清科、華峰測控分別同比增長約四成與三成。

先鋒精科指出，公司盈利大幅增長主要受益于國內半導體行業市場需求回暖及半導體設備關鍵零部件國產替代加速，公司營業收入增長，產能利用率提升，攤薄了固定成本，帶動公司利潤增長。據介紹，公司營業收入約60%—70%來源于北方華創、中微公司兩大客戶，公司向其提供腔體、內襯、勻氣盤、加熱器、工藝部件、結構部件等主要產品。根據訂單情況、客戶反饋信息，2025年中國半導體設備市場整體還處于上升周期。

另外，部分半導體設備企業將業績增速放緩或者虧損主要歸因于外部形勢變化公司加大研發投入。

對于歸母凈利潤同比下降，中微公司指出，除了2024年沒有股權處置收益外，主要是由于市場及客戶需求，以及外部形勢的變化，公司需要大量的研發投入，以確保加速補短板和實現趕超。去年公司研發投入約24.52億元，同比增長約九成，研發投入占公司營業收入比例約為27.05%。

目前中微公司在研項目涵蓋六類、超二十款新設備的開發。公司在新產品開發方面取得了顯著成效，近兩年新開發的LPCVD薄膜設備和ALD薄膜設備，目前已有多款新型設備產品進入市場并獲得重復性訂單。公司在Micro-LED和高端顯示領域的MOCVD設備開發上取得了良好進展，并積極布局用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應用的市場。

作為半導體量測設備龍頭，中科飛測去年歸母凈利潤虧損約1153萬元，成為目前已披露業績的半導體設備上市公司中唯一出現虧損的企業。

中科飛測指出，為了加快打破國外企業在國內市場的壟斷局面，公司加大新產品及現有產品向更前沿工藝的迭代升級等方面的研發投入，報告期內公司研發投入近5億元，同比增長118.17%，占營業收入約36%，占比居前。另外，為進一步促進公司核心人才隊伍的建設和穩定，公司制定并實施了《2024年限制性股票激勵計劃》，報告期內股份支付費用增加。

資本運作提速

相比往年，半導體設備上市公司資本運作提速，頻頻出手進行同行整合，或者參與產業投資。

4月8日，拓荊科技公告擬與沈陽市國資委共同發起設立遼寧省集成電路裝備及零部件創新中心，將圍繞半導體產業發展趨勢布局前沿技術，進一步推動整機裝備和零部件企業集聚發展。

北方華創去年12月同意向全資子公司華創創投增資5.1億元，與北京電控產業投資有限公司、北京國有資本運營管理有限公司等共同設立北京集成電路裝備產業投資并購二期基金。

另外，北方華創3月入主芯源微，先后受讓沈陽先進制造技術產業有限公司、沈陽中科天盛自動化技術有限公司所持芯源微9.49%與8.41%股份，合計斥資約31億元，成為芯源微第一大股東。目前芯源微的主要產品包括涂膠顯影設備等核心工藝裝備，雙方產品布局有所不同，具有互補性，有利于雙方協同效應的發揮。

在2025中關村論壇年會“硬科技投資與發展”平行論壇上，北方華創副總經理文東表示，半導體裝備產業是一個技術、資金和人才高度密集的產業，只有當企業發展到一定規模或產品布局達到一定程度時，產業才會呈現聚集效應。北方華創與全球排名前五的企業相比仍有較大差距，但已進入新的發展階段。在此階段，需加快產品布局，而并購整合是一種有效的手段。另外，目前國內集成電路產業發展迅速，半導體裝備作為硬科技，對設計和制造提供關鍵支持，需要不斷向更先進的制程延展。

1月25日，先鋒精科上市1個月后就迅速出手，擬以自有資金1200萬元收購無錫至辰科技有限公司全部股權。先鋒精科介紹，無錫至辰的主營業務為應用于泛半導體領域的陶瓷涂層服務。本次收購為進一步增強公司在半導體關鍵工藝部件的競爭力，在半導體金屬零部件的表面處理工藝方面取得突破，滿足公司在未來主營業務領域的發展需求。

另外，華海清科去年12月披露，擬使用自有資金不超過10.05億元收購公司參股子公司芯崳公司剩余82%的股權。資料顯示，芯崳公司主要從事集成電路離子注入機的研發、生產和銷售，目前實現商業化的主要產品為低能大束流離子注入設備，相關產品已發往客戶端驗證。